Skip to Menu Skip to Search Напишите нам Russia Выбрать веб-сайт и язык Skip to Content

Отклонения в распределении легирующей примеси влияют на функционирование микроэлектронных устройств. Составленный компанией SGS профиль распределения даст вам всю информацию, необходимую для подтверждения того, что ваша продукция имеет нужную для правильной работы концентрацию легирующей примеси.

С точки зрения технологии полупроводников легирующая примесь представляет собой микроэлемент, включенный в подложку или слой для определения их проводимости. Легирование — это один из ключевых процессов в полупроводниковой промышленности. Поскольку даже незначительные отклонения в распределении легирующей примеси могут существенно повлиять на работу микроэлектронного устройства, необходимо убедиться в том, что в процессе производства для распределения было использовано нужное количество примеси.

Составленный компанией SGS профиль распределения даст вам всю информацию, необходимую для подтверждения того, что ваша продукция имеет нужную концентрацию легирующей примеси и работает правильно.

SGS — надежный партнер

Наш институт в Дрездене является одной из старейших лабораторий в сфере микроэлектроники. Компания SGS зарекомендовала себя как поставщик услуг высочайшего качества. Мы определяем

  • профиль легирующих и нежелательных примесей по глубине, используя масс-спектрометрию вторичных ионов (традиционная динамическая SIMS и TOF-SIMS). 
  • Кроме того, мы измеряем электрически активные легирующие примеси с помощью:
    • составления профиля распределенного сопротивления (SRP);
    • сканирующих зондовых методов для составления 2D-профиля.

SIMS и SRP — очень чувствительные методы, дающие высокодинамичный диапазон. Они идеально дополняют друг друга.

Обратитесь в SGS, чтобы узнать, как наши услуги по составлению профиля распределения легирующей примеси могут помочь вам в вашей деятельности.